반도체 산업 공기 필터
집적 회로에 먼지가 달라붙으면 단선 및 단락이 발생할 수 있으며, 먼지는 제품 수율에 직접적인 영향을 미칩니다. 오늘날 반도체 산업(칩 공장)은 생산 환경에서 공기 청정도 측면에서 가장 까다롭고 공기 필터에 대한 요구 사항도 가장 엄격합니다.
칩 공장의 전통적인 환기 형태는 작업장의 천장 전체를 HEPA 필터로 덮고 바닥 전체를 환기 그릴로 사용하는 '대순환'입니다. 요즘 칩 공장의 일부 작업장에서는 자체 팬이 장착된 FFU('팬 필터 장치')를 사용하고 있으며, 대형 순환 유형과 FFU 모두 운영 관리 및 운영 측면에서 약간의 차이만 있을 뿐 충분한 청결을 달성할 수 있습니다. 에너지 소비.
HEPA 필터와 FFU는 모두 공장에서 출고되기 전에 장치별로 스캔되고 테스트됩니다.
공기 중 바다 소금 입자는 모든 전자 산업의 최대의 적이지만, 공기 중 바다 소금 먼지는 일반 필터로 걸러질 수 있을 만큼 상대적으로 큰 입자를 가지고 있습니다. 해안 지역은 경제적으로 개발되었으며 일부 전자 산업은 공장을 이곳에 위치시키기로 선택하므로 필터에 약간의 돈을 더 투자해야 합니다.
오늘날의 여과 기술은 클린룸의 먼지 농도를 원하는 만큼 깨끗하게 거의 0까지 줄일 수 있습니다. 칩의 선폭이 0.5μm만큼 작을 때 공기 중의 화학적 오염물질은 수율에 주요한 위험이 됩니다. 결과적으로, 선폭이 0.5μm 미만인 칩 공장의 공조 시스템에는 화학 필터가 일반적으로 필요합니다. 케미컬필터의 원리와 제조과정은 복잡하지 않고 바로 활성탄필터입니다.
화학적 오염물질의 원인은 실외 공기, 공정 자체, 사람, 장식 재료 등일 수 있습니다. 대부분의 경우 설계자와 현장 직원은 오염물질의 유형과 농도가 무엇인지 말할 수 없습니다. 따라서 사용되는 화학 필터는 넓은 스펙트럼의 흡착 특성과 충분한 양의 활성탄 물질이라는 두 가지 특성을 갖추어야 합니다. 광역흡착이란 무엇이든 흡착할 수 있다는 뜻인데, 이런 기능을 가질 수 있는 물질이 가장 흔하고 저렴한 입상활성탄이다. 오염물질의 유형을 식별할 수 있는 경우 활성탄 물질을 특정 화학물질 처리하여 특정 오염물질에 대한 흡착 능력을 향상시킬 수 있습니다.
반도체 산업은 흔히 생각하는 '무연 산업'이 아니며 환경 문제도 안고 있다. 최신 공정과 재료를 사용하는 경우가 많기 때문에 일부 화학물질은 안전성이 평가되기 전에 대량으로 사용되며, 조금만 부주의해도 지하수와 대기 모두에 심각한 화학물질 오염이 발생할 수 있습니다. 안전상의 이유로 일부 회사에서는 배기 시스템에 화학 필터를 사용하기도 합니다.
